全球首臺(tái)適用于TOPCon技術(shù)的ALD設(shè)備正式進(jìn)入量產(chǎn)階段
江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司研發(fā)的全球首臺(tái)適用于TOPCon技術(shù)的ALD設(shè)備正式進(jìn)入量產(chǎn)階段。微導(dǎo)研發(fā)的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉積設(shè)備平臺(tái),用于Topcon電池生產(chǎn)技術(shù),產(chǎn)品已交用戶使用,工藝參數(shù)的開發(fā)及優(yōu)化取得重大技術(shù)突破,隨著中試線的搭建完成,相應(yīng)的高效Topcon電池即將面世。
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