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CN
產品技術
正膜Al?O?/SiN?
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統
祝融系列ZR5000×3管式 PEALD/PECVD集成鍍膜平臺延伸祝融系列概念，一體式設計實現氮化硅正膜、氧化鋁/背膜、氧化硅/多晶硅鈍化膜一站式完成，可實現單道產能翻倍，節省占地面積。ZR5000×3兼具先進的制造執行管理系統（MES）和自動導引車（AGV）對接功能。在提供超高產能的同時，最大程度降低設備的運營成本，為后PERC高效電池技術提供理想可靠的量產解決方案，引領光伏產業化高效電池制造。
銷售郵箱
產品特點
用于 PERC, TOPCon, XBC等高效電池技術路線的應用
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搭配高載片量的石墨舟設計
2
具備優異的薄膜厚度均勻性
3
精準制備薄膜：Al?O?, SiO?, poly-Si(n+), poly-Si(p+), SiNx/ SiC/ SiON 等
4
提供 PERC/ TOPCon 量產工藝 PEALD/ PECVD 路線集成技術
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