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CN
產品技術
產業化應用中心
后羿?系列 板式ALD系統
采用自主知識產權的真空腔內溫場和流場設計，實現空間型原子層沉積鍍膜工藝方式，為鈣鈦礦薄膜太陽電池組件產線提供高質量氧化物功能層薄膜材料，以確保量產組件的高效率和長壽命。面向平米級玻璃襯底，高速鍍膜解決方案，適配線型產線的生產節拍，集成成熟的上下料自動化方案，為客戶提供可靠的大規模量產解決方案。
銷售郵箱
產品特點
適用于正式或反式、單結或疊層的鈣鈦礦薄膜太陽電池組件
1
針對平米級面積玻璃襯底，常用尺寸0.6×1.2 ㎡/1.2×2.4 ㎡可客戶定制
2
制備氧化錫（SnOx）和氧化鋁（AlOx）等高質量致密氧化物薄膜
3
優異的薄膜厚度面積均勻性，片內<5%，批間<5%
4
適配于大面積襯底線性產線的生產節拍60s/片@ 20nm
5